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影響三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)量誤差有兩個(gè)方面：非測(cè)量機(jī)的影響和測(cè)量機(jī)的影響。
環(huán)境條件：溫度、濕度、震動(dòng)等。
工作和操作：工件的固定、表面、硬度、接觸力、測(cè)量工藝等。
測(cè)量任務(wù)的定義：技術(shù)圖紙
坐標(biāo)系（靜態(tài)）——位置偏差、垂直度偏差、直線度偏差、角擺偏差。
動(dòng)態(tài)特性——與測(cè)量機(jī)的結(jié)構(gòu)、組件的配置有關(guān)，與移動(dòng)速度、接觸力、加速度有關(guān)——過渡過程的時(shí)間效 應(yīng)、動(dòng)態(tài)變形性能。
探測(cè)系統(tǒng)——測(cè)頭的各向?qū)浴⒘泓c(diǎn)、運(yùn)動(dòng)速度的響應(yīng)，測(cè)頭系統(tǒng)的特性曲線；測(cè)桿的剛性、球的形狀，以 及運(yùn)動(dòng)部件的綜合作用。
控制系統(tǒng)
軟件——算法、求值方法、采用迭代法時(shí)的中斷判據(jù)
附加裝置——圓轉(zhuǎn)臺(tái)等
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