思瑞大行程影像測量儀，助力掩膜版高精度測量

掩膜版是微電子制造中使用的圖形轉移工具或母版，在平板顯示、半導體、觸控和電路板的制造過程中起著重要作用。它屬于精 密度較高的定制化產品，在制造完成后，需對其進行嚴格的精度檢驗，以驗證其與設計要求的一致性。

檢測需求

此次客戶需要對大批量的金屬框及金屬框+掩模版產品進行測量，產品長度范圍為500mm-1870mm，寬度范圍為600mm-1500mm，測量需求包括產品多點位的平面XY坐標信息、指定點位的高度Z坐標信息以及金屬框指定點相對平面的下垂量。

檢測難點

掩膜板產品通常具有較大的尺寸和重量，重量范圍在30kg到120kg之間，且其產品特征多，需要使用底光測量方法進行檢測。在將這些產品放置在平臺上時，需要確保平臺沒有出現明顯的變形，這對于測量平臺的承重能力提出了挑戰。

解決方案

思瑞VIEWMAX L是一款具有專用平臺并采用特殊尺寸的大行程影像儀，平臺四周采用大理石框架，中間搭載玻璃平臺，產品可固定在大理石平臺上，能夠解決產品放置在玻璃平臺上產生的變形問題，確保測量的準確性。此外，VIEWMAX L影像儀使用經過PTB認證的專 業測量軟件PC-DMIS VISION，可以對相同間隔類似的檢測特征元素陣列循環，解決大批量相同元素編程耗時難點

檢測過程

1、測量mark 點并建立坐標系

2、抓取第 一個矩形框，共計4條直線。

a)  構造點，分別構造四條線的相交點;

b) 構造線，構造對角線;

c) 構造點，選擇兩條對角線，求相交點。

3、特征位置，并輸出相交點XY值。

4、陣列。

a)  復制需要陣列的元素及尺寸評價

b)  選擇“編輯-陣列”

c)  設置偏置距離及偏置次數

d)  選擇“編輯-陣列粘貼”

5、激光在基準平面四周取四個激光點。

a)構造平面，選擇四個激光點。

b)建立坐標系，面Z正找正，面為Z原點.

6、白光檢測矩形框的交叉點Z值，檢測下垂量。

7、報告輸出

思瑞掩膜版檢測方案高 效精 準，通過底光測量和高精度傳感器準確獲取產品形狀尺寸信息，幫助廠商嚴格控制質量，保證產品合格。思瑞提供全 面技術支持和售后服務，優化制造效率與產品質量，幫助客戶獲得準確的檢測結果和優 質的使用體驗。